Sputterdoelen fan koper mei hege suverens - fjouwerkant (4N-6N)
Sputterdoel foar koper mei hege suverens - Ferklearring oer proses en kwaliteitsfersekering
Us fjouwerkante koperen sputterdoelen wurde produsearre neffens de strange noarmen dy't fereaske binne foar betroubere tinne-filmôfsetting yn avansearre coatingprosessen.
De produksje folget in strang kontroleare fakuüm-basearre workflow om ultra-hege suverens en materiaalkonsistinsje te behâlden:
● Seleksje fan grûnstoffen: Allinnich sertifisearre elektrolytyske koperkatodes (≥99,99%) wurde brûkt as útgongsmateriaal.
● Fakuümsmelten: Ynduksjesmelten ûnder hege fakuüm of inerte atmosfear minimalisearret soerstofopname en flechtige ûnreinheden.
● Gieten en raffinearjen: Kontroleare rjochtingsstolling produseart blokken mei homogene gearstalling en minimale segregaasje.
● Hjitbewurking: Smeiden of hjitpersen berikt hast teoretyske tichtheid en in ferfine nôtstruktuer.
● Presyzjebewerking: CNC-frezen en slypjen produsearje krekte fjouwerkante ôfmjittings mei platte, parallelle oerflakken.
●Oerflakôfwerking: Mearstapspolearjen soarget foar in spegeljende ôfwerking dy't geskikt is foar gebrûk yn skjinne keamers.
● Opsjonele bonding: Indium- of elastomeerbonding oan molybdeen/koperen efterplaten beskikber foar termysk behear.
●Finale skjinmeitsjen en ferpakking: Ultrasone skjinmeitsjen yn ultra-suver wetter, folge troch fakuümfersegeling yn dûbele laachse skjinne sekken.
Kwaliteitskontrôlesysteem
● Folsleine traceerberens fan rau katodepartij oant klear doel
● Materiaalsertifikaten en testrapporten wurde by elke ferstjoering levere
● Bewarjen fan argyfmonsters ≥3 jier foar ferifikaasje troch tredden (SGS, BV, ensfh.)
● 100% ynspeksje fan krityske parameters:
• Suverens en ûnreinheden (GDMS/ICP-MS-analyze; typyske soerstof <10 ppm)
• Dichtheidsmjitting (Archimedes-metoade; ≥99,5%)
• Korrelgrutte en mikrostruktuer (metallografysk ûndersyk)
• Dimensjonele krektens (CMM; flakheid ≤0.05mm typysk)
• Oerflakrûchheid en defekten (profilometer + fisuele ynspeksje)
● Ynterne spesifikaasjes binne heger as de easken fan ASTM F68. Typyske eigenskippen: Termyske geleidingsfermogen >390 W/m·K, Elektryske wjerstân <1.7 μΩ·cm, Konsekwinte sputtersnelheid en filmkwaliteit.
● Skjinnekeamer-kompatible prosessen en ISO 9001:2015-sertifisearre foarsjenning soargje derfoar dat elk doel foldocht oan 'e easken fan moderne PVD-tapassingen.










